IONPURE VNX55-E Модуль CEDI с высоким потоком 18 МΩ-см Ультрачистая вода для микроэлектроники Систем очистки воды высокой чистоты

IONPURE VNX55-E - это модуль высокопоточной непрерывной электродеионизации (CEDI), обеспечивающий номинальный поток воды продукта 12,5 м³/ч (55 гмин) для полупроводниковых и ультрачистых систем воды. Разработанный в качестве модуля цеди без химических веществ для систем очистки воды высокой чистоты, он гарантирует сопротивление 18 МОм · см с удалением кремния и бора 95%. Подходит для микроэлектроники промывания воды, пластинки фабрики UPW петель, и питания котла генерации электроэнергии.

Что такое модуль CEDI с высоким потоком?

Модуль CEDI с высоким потоком представляет собой электрохимическое устройство для очистки воды, которое непрерывно удаляет ионизированные и ионизируемые загрязнители из проникновения обратного осмоза (RO) для получения сверхчистой воды без химической регенерации. В отличие от обычного смешанного ионообмена, модули CEDI используют ионообменные мембраны, ионообменные смолы и электрический потенциал постоянного тока для стимулирования миграции ионов, разделения воды на ионы H + и OH для регенерации смолы in situ. Это устраняет обработку кислоты/кастической, нейтрализирующие резервуары и время простоя регенерации.

VNX55-E представляет собой самую высокую номинальную пропускную способность в серии IONPURE VNX, номинальная мощность 12,5 м³/ч на модуль. Он специально оптимизирован для изготовления микроэлектроники, где контроль кремния, бора, натрия и хлорида на уровне ppb является обязательным для защиты урожайности пластинки. Несколько модулей VNX55-E могут быть размножены параллельно для строительства систем, превышающих 228 м³/ч (1000 гмин).

Ключевые спецификации

Номинальный поток продукта: 12,5 м³/ч на модуль (55 гмин)

Водостойкость продукта: ≥18 МΩ·см (гарантированная)

Кремний диоксид (SiO) ₂) Удаление: ≥95%

Удаление бора: ≥95%

Натрий (Na) ⁺) Удаление: ≥99.8%

Хлорид (Cl) ⁻) Удаление: ≥99.8%

Восстановление воды: 98,5% до 99%

Рабочий диапазон напряжения постоянного тока: от 0 до 300 В

Рабочий диапазон тока постоянного тока: от 2,0 до 13,2 А

Проводимость воды корма: амп; lt; 10µS/cm (требуется вторичная RO или DI вода)

Диапазон температуры воды корма: 20°C до 45°C

Диапазон давления воды корма: 1,4 до 7 бар (20 до 100 пси)

Остаточный хлор кормовой воды: амп; lt; 0,02 ppm

Общая твердость кормовой воды: амп; lt; 0,1 ppm (как CaCO) ₃)

Кормовая вода реактивный кремний: амп; lt; 0,2 ppm

Максимальная температура окружающей среды: ≤45°C

Установка окружающей среды: внутри помещения, избегайте прямого солнечного света

Диаметр модуля: 44,45 см

Ширина модуля: 50,8 см

Высота модуля: 50,8 см

Длина модуля: 213,3 см

Подключения: Процесс-порт конструкция уплотнения, 50 мм butt-сварный полипропилен (PP) соединения включены

Коробка соединения: Предварительно проводная коробка соединения включена

Сертификаты: маркировка CE, изготовленная в соответствии с сертифицированными системами менеджмента качества ISO 9001 и ISO 14001

Типичная производительность сопротивления продукта: 17,5 до 18 МΩ · см

Технические моменты

Тонкоклеточное концентратное отделение устраняет инъекцию соли. Собственная тонкоклеточная конструкция концентрирует отброшенные ионы без необходимости внешней подачи соли или рециркуляционных насосов концентрата, упрощая систему трубопровода и уменьшая количество вспомогательного оборудования.

Процессное уплотнение уплотнения предотвращает межцепную утечку. Каждая точка соединения использует уплотнение сжатия через порт, которое изолирует потоки продукта, концентрата и электрода. Общие режимы сбоя канавок О-кольца, встречающиеся с обычными конструкциями пластин и рам, устраняются, снижая риск незапланированного простоя в непрерывных 24/7 фабричных операциях.

Интегрированное распределение потока оптимизирует эффективность тока. Внутренний путь потока модуля и расположение упаковки смолы поддерживают равномерную плотность тока по всей активной области мембраны. Это предотвращает локализованные горячие точки, которые ухудшают срок службы мембраны, и обеспечивает гарантированную эффективность отвращения кремния и бора на 98,5% -99% восстановления воды.

Работа без химических веществ снижает нагрузку OPEX и EHS. Электрохимическая регенерация происходит непрерывно внутри модуля - не требуются кислотные, кастические или нейтрализующие химические вещества. Обычный вопрос о закупках заключается в том, требуют ли модули CEDI периодической замены смолы или химической очистки. Модули IONPURE VNX55-E работают в течение многих лет без замены смолы; Частота очистки полностью зависит от соответствия питательной воды установленному минимальному качеству входа.

Приложения

Полопроводниковая пластинка fab ультрачистая полировка воды: Полирует вторичную RO-проницаемость и полирует до 18 МΩ · см для погружения литографии, влажного травления и чистки после CMP. Удаление кремния и бора 95% защищает от образования дефектов микросхемы в процессах узлов под 10 нм.

Плоский дисплей (FPD) производства воды для промывания: обеспечивает последовательную воду для промывания высокой чистоты для очистки подложки ЖК и OLED. Скорость потока 12,5 м³/ч на модуль позволяет компактным системным следам для фабричных UPW-установок поколения 8,5 и 10,5.

Вода подачи котла высокого давления для производства электроэнергии: Полировки RO проникают до проводимости под 0,1 мкС / см для изготовления котла высокого давления в газовых турбинах комбинированного цикла и сверхкритических угольных станциях. Удаление натрия≥99.8% предотвращает коррозию лопасти турбины и масштабирование кремниевого диоксида.

Фармацевтическая очищенная вода (PW) и вода для инъекций (WFI) предварительная обработка: служит в качестве стадии предварительной полировки вверх по течению дистилляции или окончательного UF. Устраняет химическую обработку, связанную с обменом DI для регенерированного обслуживания за пределами объекта, упрощая аудиты соответствия USP и EP.

Масштабное расширение центрального завода UPW: несколько модулей VNX55-E, размноженных параллельно, производят более 228 м³/ч для распределенных цикл по всему кампусу. Встроенная соединительная коробка и включенные 50 мм соединения PP с опорной сваркой уменьшают труд полевых трубопроводов и время электрического завершения во время установки.

Руководство по выбору

Подходящие приложения:

Большие системы ультрачистой воды, требующие ≥12,5 м³/ч на полирующий поезд с проводимостью подачи consistentlyamp; lt;10µS/см от верхнего потока RO

Полупроводниковые и микроэлектронные заводы, где спецификации удаления кремния, бора, натрия и хлорида имеют решающее значение для обработки пластинок

Устройства, стремящиеся устранить опасные химические вещества - без наличной кислоты или кастического хранения, без системы нейтрализации, без нагрузки разрешения на сброс соленой растворки отходов

Закрытые комнаты управления или здания для очистки воды с температурой окружающей среды, поддерживаемой на уровне 45°C или ниже, и без прямого солнечного света на модулях

Не рекомендуется для:

питательная вода с проводимостью более 10 мкС/см или твердостью; gt; 0,1 ppm без модернизации предварительной обработки. Превышение спецификации входа снижает сопротивление продукта, ускоряет масштабирование в концентратных отделениях и может навсегда повредить ионообменные мембраны.

Применения, требующие сопротивления продукта воде ниже 10 МΩ·см при полном потоке. В таких случаях меньший модуль CEDI из серии IONPURE VNX-CDIT или IP-LXM может обеспечить более пропорциональную стоимость капитала на единицу потока.

Наружные установки без погодозащитных корпусов. VNX55-E предназначен для использования в помещениях; УФ-воздействие и условия риска замораживания требуют укрытия с контролируемой температурой.

Часто задаваемые вопросы

1.Каковы размеры отпечатка и установки IONPURE VNX55-E?

Корпус модуля длиной 213,3 см, шириной 50,8 см и высотой 50,8 см с диаметром 44,45 см. Дозвольте дополнительному пробелу для 50 мм соединения PP с опорной сваркой и доступа к передней боковой соединительной коробке.

2.Как долго типичное время доставки или время поставки для VNX55-E?

Стандартное время поставки составляет от 8 до 12 недель с подтверждения заказа завода. Для срочных сроков проекта ускоренные производственные слоты могут сократить доставку до 6 недель.

3.Какое качество питательной воды требуется для надежной работы VNX55-E?

Подводная вода должна быть вторичной RO-проницаемой или DI-качественной водой с проводимостью; lt; 10µS/см, температура 20-45°C, давление 1,4-7 бар, остаточная хлорная усилитель; lt; 0,02 ppm, твердость samp; lt;0,1 ppm как CaCO ₃, и реактивный кремний; lt;0,2 ppm. Работа за пределами этих пределов снижает сопротивление продукта воде и может аннулировать гарантийное покрытие.

4.Сколько стоит модуль CEDI IONPURE VNX55-E? Какова цена?

VNX55-E обычно варьируется от 65 000 до 85 000 долларов США за модуль в зависимости от объема конфигурации системы и региональных условий поставки. Цены колебаются из-за обменных курсов, тарифов и заводских корректировок. Для точной котировки с текущими ценами и расходами на доставку, свяжитесь напрямую с Beijing Zhongping Technology.

5.Какие условия оплаты доступны при покупке VNX55-E?

Мы принимаем банковский перевод (T / T) и необратимый аккредитив (L / C) на глаза. Для квалифицированных промышленных счетов Beijing Zhongping Technology предлагает поэтапные платежи, связанные с этапами испытаний на прием на заводе.

6. Может ли VNX55-E работать при частичном потоке, например, во время ввода в эксплуатацию или периодов низкого спроса?

Да, модуль может работать при сниженном потоке, регулируя ток постоянного тока пропорционально. Поддерживайте поток подачной воды в пределах от 60% до 110% номинального и регулируйте напряжение, чтобы поддерживать целевую плотность тока для оптимального удаления ионов.

7.Какую скорость восстановления воды достигает VNX55-E и как обрабатывается концентрат?

Модуль достигает восстановления от 98,5% до 99%. Оставшийся поток концентрата от 1% до 1,5% может быть возвращен в кормовый резервуар RO или разряжен, поскольку он содержит только концентрированные кормовые соли без добавления химических веществ.

Совместим ли VNX55-E с существующими системами контроля и сбора данных на основе ПЛК?

Да, предварительно проводная коробка соединения обеспечивает терминалы входа питания постоянного тока. Пользователи обеспечивают внешнее питание постоянного тока (номинальное до 0-300 VDC, 2,0-13,2 А) с исправителя, управляемого аналоговым сигналом 4-20 мА или 0-10 VDC от SCADA или PLC установки.

9.Какую гарантию предоставляет VNX55-E и доступны ли расширенные соглашения об обслуживании?

Мы предоставляем стандартную 12-месячную гарантию от ввода в эксплуатацию или 18 месяцев от отгрузки, в зависимости от того, что происходит сначала. Программы расширенной гарантии, включая ежегодные аудиты производительности и тестирование целостности мембраны, доступны у Beijing Zhongping Technology.

10.Как модули замены или расширения VNX55-E гидравлически сопоставляются с существующими коллекторами?

Все модули VNX55-E имеют одинаковое гидравлическое сопротивление и геометрию порта. Новые модули могут быть добавлены к существующему параллельному коллектору без перебалансирования отверстий. Обеспечить поток конструкции системы и текущую нагрузку на поезд при заказе, а Beijing Zhongping Technology поставляет чертеж соединения коллектора и график электрической нагрузки.